
Описание продукта Мембранные клапаны для газов высокой чистоты являются основными регулирующими элементами систем подачи специальных и сверхчистых газов. Они широко применяются в лабораториях, полупроводниковой промышленности, при производстве прецизионных приборов, а также в трубопроводах...
Мембранные клапаны для газов высокой чистоты являются основными регулирующими элементами систем подачи специальных и сверхчистых газов. Они широко применяются в лабораториях, полупроводниковой промышленности, при производстве прецизионных приборов, а также в трубопроводах высокой чистоты для перекрытия и изоляции газовых каналов, являясь ключевыми компонентами, обеспечивающими чистоту и герметичность газовых контуров высокой чистоты.
В клапанах этого типа используется мембранная уплотнительная конструкция без мертвых зон. Внутренние стенки проходного канала корпуса клапана подвергаются электрохимической полировке (EP), что обеспечивает высокую степень чистоты, отсутствие мертвых зон и выделения примесей, а также позволяет эффективно предотвратить загрязнение газа и перекрестные остатки. Клапаны подходят для использования с различными видами высокочистых инертных газов, таких как азот, аргон, гелий и кислород. Корпус клапана, как правило, изготавливается из нержавеющей стали марки 316L, а уплотнительные элементы — из материалов FFKM/PTFE, которые обладают коррозионной стойкостью и устойчивостью к старению, что исключает риск утечек при длительном использовании; у некоторых моделей коэффициент утечки может достигать уровня 1×10⁻⁹ атм·см³/с.
В зависимости от способа привода мембранные клапаны подразделяются на ручные и пневматические: ручные клапаны управляются непосредственно с помощью верхнего поворотного ручка, что обеспечивает интуитивное управление; пневматические клапаны приводятся в действие источником сжатого воздуха, что позволяет осуществлять дистанционное управление, подключаться к системам автоматизации и использовать их в условиях непрерывного производства. Варианты подключения включают VCR, обжимные соединения, сварку и другие формы, что позволяет гибко адаптироваться к различным требованиям монтажа трубопроводов.
Являясь ключевым элементом систем подачи высокочистых газов, мембранные клапаны сочетают в себе высокую степень чистоты и герметичности, позволяют эффективно контролировать газовый поток, предотвращают утечку газа и проникновение посторонних примесей извне, являясь незаменимым ключевым компонентом современных систем подачи высокочистых газов.