Часто задаваемые вопросы по изготовлению шкафов для очистки сверхчистых газов и меры по их решению 

I. Проблемы герметичности корпуса и пневматических линий

1. Проблема: Незначительные утечки в обжимных соединениях и фланцах, снижение чистоты высокочистых газов, превышение допустимого значения точки росы.
Меры: Использование труб из нержавеющей стали 316L класса EP, удаление заусенцев с торцов труб; применение металлических уплотнительных прокладок с твёрдым уплотнением, поэтапная проверка герметичности с помощью гелия; сборка допускается только после достижения допустимого уровня утечки.
2. Проблема: Много мёртвых зон в трубопроводах, большой мёртвый объём, затруднённая продувка, загрязнение источника газа остаточным газом.
Меры: Прокладка трубопроводов по кратчайшему пути, сокращение количества отводов, использование мембранных клапанов высокой чистоты с малым мёртвым объёмом.

II. Вопросы, связанные с загрузкой наполнителя для очистки

1. Проблема: Неплотное заполнение наполнителя приводит к образованию пустот и короткому замыканию газового потока, что снижает эффективность удаления воды и кислорода.
Меры: Заполнение с послойной вибрацией, установка сверху и снизу пористых перегородок для распределения потока; подбор наполнителя с учетом состава примесей в газе.
2. Проблема: Насыщение наполнителя влагой, отслоение пыли при транспортировке и засорение фильтрующих элементов.
Меры: Герметичная упаковка, установка высокоточных фильтров на входе и выходе, продувка высокочистым азотом перед отгрузкой.

III. Система нагрева и контроля температуры

1. Проблема: Неравномерная температура регенерационного подогрева, сбой регенерации из-за перегрева или пониженной температуры, нестабильные показатели очистки.
Меры: Равномерное распределение нагревательных проволок, установка датчиков температуры, блокировка питания при перегреве; точность контроля температуры ±3 °C.
2. Проблема: Повреждение изоляции нагревательной ленты, возникающие искры.
Меры: Использование взрывозащищенных нагревательных элементов, герметичная изоляция соединений.

IV. Клапаны и переключающие контуры

1. Проблема: Внутренняя утечка в клапанах, загрязнение сверхчистого газа примесями, выделяющимися из материала корпуса клапана.
Меры: Использование клапанов из высокочистой нержавеющей стали на всем технологическом процессе; ультразвуковая обезжиривающая очистка перед монтажом; заводские испытания на герметичность каждого клапана в отдельности.

V. Неисправности приборов контроля

1. Проблема: утечки в трубопроводах отбора проб приборов измерения точки росы и содержания кислорода, что приводит к искажению данных.
Меры: использовать короткие и чистые трубопроводы отбора проб; обеспечить, чтобы приборы прошли калибровку перед вводом в эксплуатацию; установить отводные отверстия для калибровки.

VI. Конструкция шкафов и антикоррозионная защита

1. Проблема: тонкие стальные листы корпуса шкафов, плохая герметичность, проникновение влаги из окружающей среды.
Меры: Корпус из холоднокатаной нержавеющей стали; уплотнительные прокладки на дверях должны быть целыми; внутренняя поверхность подвергается пескоструйной обработке и антикоррозионной окраске.

VII. Недостатки систем безопасности

1. Проблема: Отсутствие защиты от избыточного давления и централизованного сброса отработанных газов регенерации.
Меры: Установить трубопроводы для безопасного сброса давления; отработанные газы регенерации централизованно выводить наружу.